Rev. Phys. Appl. (Paris) 25, 183-187 (1990)
DOI: 10.1051/rphysap:01990002502018300
Couches minces supraconductrices à base D'YBa2Cu3O(7-x) par pulvérisation cathodique multicible
E. Bouteloup, B. Mercey, G. Poullain, T. Brousse, H. Murray et B. RaveauCRISMAT ISMRa, Bd. du Mal. Juin, 14032 Caen Cedex, France
Abstract
This paper reports a new technique to prepare superconducting YBa 2Cu3O(7-x) thin films. The multitarget sputtering apparatus described below allows the simultaneous and reproducible production of numerous films with a metallic composition close to Y17%Ba 33%Cu50%. Superconducting films (R = 0) at 80 K have been produced on polycrystalline zirconia substrates after a high temperature annealing.
Résumé
Cet article présente une technique inédite d'élaboration de couches minces supraconductrices à base d'YBa2Cu3O(7-x). Le dispositif de pulvérisation cathodique multicible décrit permet, de par son architecture, la production simultanée et reproductible d'un nombre important de dépôts possédant une composition métallique très proche de Y17 % Ba33 %Cu50%. Des films supraconducteurs (R = 0 ) à 80 K sur substrats de zircone polycristalline sont finalement obtenus après un recuit à haute température.
8115C - Deposition by sputtering.
6855 - Thin film growth, structure, and epitaxy.
7470V - Perovskite phase superconductors.
7475 - Superconducting films.
Key words
annealing -- barium compounds -- high temperature superconductors -- sputter deposition -- superconducting thin films -- yttrium compounds -- high temperature superconductor -- multitarget cathodic sputtering -- thin films -- composition -- polycrystalline zirconia substrates -- high temperature annealing -- 80 K -- YBa sub 2 Cu sub 3 O sub 7 x -- ZrO sub 2