Rev. Phys. Appl. (Paris) 8, 455-461 (1973)
DOI: 10.1051/rphysap:0197300804045500

Réalisation de microponts supraconducteurs de niobium par bombardement ionique

R. Adde¹, P. Crozat¹, S. Gourrier¹, G. Vernet¹, M. Bernheim² et D. Zenatti<sup>3

1</sup>  Institut d'Electronique Fondamentale, Laboratoire associé au CNRS, Bâtiment 220, Université Paris 11, 91405 Orsay, France
²  Laboratoire de Physique des Solides, Bâtiment 510, Laboratoire associé au CNRS, Université Paris 11, 91405 Orsay, France
³  LETI-DINR, Centre d'Etudes Nucléaires, Cedex 85, 38041 Grenoble, France

Abstract
Superconducting microbridges of « hard » superconductors can be realized reproducibly using an ion bombardment technique. The micromachining is obtained directly if one focusses onto the sample an ionic image which represents the structure to be machined. Niobium microbridges have been realized using this technique and their properties are described : critical temperature, normal resistance, I-V characteristic, d-c magnetic field effect and microwave field effect.

Résumé
On présente une technique reproductible de fabrication de microponts supraconducteurs applicable aux supraconducteurs « durs » (Ta, V, Nb) par bombardement ionique. L'usinage de microponts est obtenu globalement en formant sur un film mince une image ionique représentant la structure à usiner. Les propriétés de microponts de niobium ainsi réalisés sont ensuite décrites : température critique, résistance normale, caractéristique (I, V), action d'un champ magnétique continu et d'un champ hyperfréquence.

PACS
8525A - Superconducting device characterization, design, and modeling.

Key words
Superconductor circuit -- Electric bridges -- Microbridges -- Machining -- Ion beams -- Electrical conductivity -- Superconducting transitions -- Voltage current curve -- Magnetic field effect -- Microwave field -- Niobium -- Experimental study