Rev. Phys. Appl. (Paris) 9, 315-321 (1974)
DOI: 10.1051/rphysap:0197400901031500

Évaporation du séléniure de zinc en tube ouvert sous flux d'argon et d'hydrogène

J. Chevrier, D. Etienne et G. Bougnot

Centre d'Etudes d'Electronique des Solides (Associé CNRS) Université des Sciences et Techniques du Languedoc place E.-Bataillon, 34060 Montpellier, France

Abstract
We have been interested in thermodynamical equilibria describing the transport in vapor phase of a zinc selenide source exposed to an argon or hydrogen flow, at high temperature. We have studied the evaporation of that compound in the low linear velocity range. Then, we have shown the influence of hydrogen with respect to the inert gas and confirmed the use of the most recent thermochemical data for SeH2(g) which account well for our experimental results. Fick's diffusion law has been successfully applied to these results.

Résumé
Nous nous sommes intéressés au phénomène d'évaporation d'un solide sous flux gazeux dans les domaines de simple diffusion et de diffusion-convection. Le transport en phase vapeur du séléniure de zinc, sous flux d'argon ou d'hydrogène, a été ainsi décrit et l'on montre que, dans le domaine de vitesse étudié, le régime d'équilibre thermodynamique, associé à la loi de Fick suffit à rendre compte des résultats expérimentaux.

PACS
6470H - Solid vapour transitions.
0510 - Crystal growth.
2550 - Semiconductor device technology.

Key words
evaporation -- II VI semiconductors -- semiconductor growth -- solid vapour transformations -- zinc compounds -- thermodynamical equilibria -- low linear velocity range -- open tube -- ZnSe evaporation -- vapour phase transport -- Ar flow -- H flow -- Fick's diffusion law -- SeH sub 2 g data