Rev. Phys. Appl. (Paris) 11, 101-111 (1976)
DOI: 10.1051/rphysap:01976001101010100

Utilisation en microscopie électronique des pertes d'énergie des électrons pour l'analyse chimique locale

B. Jouffrey et J. Sevely

Laboratoire d'Optique Electronique du C. N. R. S., 29, rue J.-Marvig, B. P. 4347, 31055-Toulouse Cedex, France

Abstract
Energy loss analysis in the electron microscope is useful for studying the electronic structure of thin films : the free electron densities in the valence bands are related to the plasmon losses. In particular, the distribution of known types of impurities can be determined in alloys. Deep inner shell excitation yields a method of chemical microanalysis : the sensitivity is now about 5 x 10-3. Applications for moon dust particles will be shown.

Résumé
L'analyse des pertes d'énergie des électrons ayant traversé une couche mince permet de mettre en évidence l'excitation de plasmons et d'électrons des niveaux atomiques profonds. L'étude des plasmons donne des informations sur la densité des électrons de la bande de valence. Ils peuvent en particulier être utilisés dans le cas d'alliages dont la composition moyenne est connue pour déterminer la répartition des divers éléments. L'étude de l'excitation des électrons des niveaux atomiques profonds permet d'envisager une méthode d'analyse chimique à l'échelle de la microscopie électronique. La précision de cette méthode atteint à l'heure actuelle une valeur de 5 × 10-3. Quelques exemples d'applications sont donnés dans le cas particulier d'échantillons lunaires.

PACS
8280 - Chemical analysis and related physical methods of analysis.
8170J - Chemical composition analysis, chemical depth and dopant profiling.

Key words
Chemical composition -- Electron microscopy -- Chemical analysis -- Chemical composition -- Quantitative chemical analysis -- Electron energy loss spectra -- Plasmons