| Numéro |
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 15, Numéro 1, janvier 1980
|
|
|---|---|---|
| Page(s) | 55 - 59 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/rphysap:0198000150105500 | |
Rev. Phys. Appl. (Paris) 15, 55-59 (1980)
DOI: 10.1051/rphysap:0198000150105500
Laboratoire de Physique, Institut Polytechnique de Bucarest, Roumanie
2560 - Semiconductor devices.
4360 - Laser applications.
Key words
digital systems -- laser beam applications -- semiconductor device testing -- semiconductor devices -- laser scanning digital system
DOI: 10.1051/rphysap:0198000150105500
Un système à commande digitale pour l'étude des dispositifs semiconducteurs par le balayage d'un faisceau de lumière laser
Gh. A. Stanciu, I.M. Popescu et C.M. StoichitaLaboratoire de Physique, Institut Polytechnique de Bucarest, Roumanie
Abstract
A laser scanning digital system for investigations in semiconductor devices is shown. A discussion of the apparatus and the performance is given, and some applications which set up the work possibilities are presented.
Résumé
Il est présenté un système digital de balayage à laser pour l'investigation des dispositifs à semiconducteurs. Une discussion de l'équipement et de ses performances est donnée, ainsi que quelques applications qui mettent en évidence les possibilités de travail du système.
2560 - Semiconductor devices.
4360 - Laser applications.
Key words
digital systems -- laser beam applications -- semiconductor device testing -- semiconductor devices -- laser scanning digital system