Rev. Phys. Appl. (Paris) 20, 325-332 (1985)
DOI: 10.1051/rphysap:01985002006032500

Emission, réception et réflexion d'ondes à la surface d'un milieu anisotrope

M. Planat, J.M. Hamet et P. Schiavone

Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs du CNRS, associé à l'Université de Franche-Comté-Besançon, 32, avenue de l'Observatoire, 25000 Besançon, France

Abstract
Surface and bulk acoustic waves excited and detected by a metallic interdigital transducer deposited on the surface of an anisotropic low piezoelectric medium are studied first In the harmonic mode, the comb emits the Rayleigh wave (or the pseudo-Rayleigh wave) and also three bulk waves called « surface skimming bulk waves ». This result is compared to experiments on surface wave quartz delay lines and resonators. The method is then applied to the reflexion of a Rayleigh wave under a low deep groove.

Résumé
Nous étudions en premier lieu les ondes de surface et de volume émises et détectées par un transducteur métallique interdigité déposé à la surface d'un milieu anisotrope faiblement piézoélectrique. Il est montré qu'en régime harmonique le réseau émet non seulement l'onde de Rayleigh (ou la pseudo-onde de Rayleigh), mais qu'il rayonne aussi trois ondes de volume. Ces conclusions sont confirmées par les mesures effectuées à l'aide de lignes à retard et de résonateurs à quartz. La méthode est ensuite utilisée pour étudier la réflexion d'une onde de Rayleigh sous un sillon gravé peu profond.

PACS
6825 - Mechanical and acoustical properties of solid surfaces and interfaces.

Key words
Rayleigh waves -- surface acoustic waves -- surface waves -- anisotropic crystal -- bulk acoustic waves -- metallic interdigital transducer -- anisotropic low piezoelectric medium -- Rayleigh wave -- surface skimming bulk waves -- low deep groove