Rev. Phys. Appl. (Paris) 21, 73-80 (1986)
DOI: 10.1051/rphysap:0198600210107300

Optimum image processing for morphological study of granular films

A. Beghdadi^{1, 2}, A. Constans¹, P. Gadenne² et J. Lafait<sup>2

1</sup>  Groupe d'analyse d'images biomédicales (CNAM, Paris 5), 3, Bd Pasteur, 75015 Paris, France
²  Laboratoire d'Optique des Solides, U.A. 040781 du C.N.R.S., Université Pierre et Marie Curie 4, place Jussieu, 75252 Paris Cedex 05, France

Abstract
The binarization of transmission electron micrographs of thin granular films is an essential step for the statistical study of the film morphology in the framework of scaling laws and fractal theory. An image processing is developed, leading to an unambiguous optimum binarization threshold, without any loss of information. This treatment, efficient even on films with unimodal gray level histograms, is tested on different granular metallic or metal-dielectric films.

Résumé
La binarisation des clichés de microscopie électronique par transmission de couches minces granulaires est une étape indispensable pour l'étude statistique de la morphologie de la couche, dans le cadre des lois d'échelle et de la théorie fractale. Nous présentons un processus de traitement d'image conduisant à un seuil optimal de binarisation, sans perte d'information. Ce traitement, efficace même sur des films présentant un histogramme de niveaux de gris unimodal, est testé sur différentes couches minces granulaires de métal ou de composés métaldiélectrique.

PACS
4230V - Image processing and restoration.
6855 - Thin film growth, structure, and epitaxy.

Key words
computerised picture processing -- thin films -- transmission electron microscope examination of materials -- image processing -- granular films -- binarization -- transmission electron micrographs -- film morphology -- scaling laws -- fractal theory -- optimum binarization -- unimodal gray level histograms