Rev. Phys. Appl. (Paris) 23, 265-272 (1988)
DOI: 10.1051/rphysap:01988002303026500

Etude des propriétés optiques et de la structure de couches minces électrochromes de WO3 préparées par CVD

D. Davazoglou^{1, 2}, A. Donnadieu^{1, 2}, R. Fourcade^{3, 2}, A. Hugot-Legoff⁴, P. Delichère⁴ et A. Perez<sup>5

1</sup>  Laboratoire de Spectroscopie , Unité Associée au CNRS n° 790
²  Université des Sciences et Techniques du Languedoc, place Eugène-Bataillon, 34060 Montpellier Cedex, France
³  Laboratoire des Acides Minéraux, U.A. 79
⁴  Laboratoire de Physique des Liquides et Electrochimie, Groupe de Recherche n° 4 du CNRS, Université P. et M. Curie, 4 place Jussieu, 75230 Paris, France
⁵  Département de Physique des Matériaux, Associé au CNRS, Université Claude Bernard Lyon I, 43 bd du 11-Novembre-1918, 69622 Villeurbanne, France

Abstract
WO3 polycrystalline thin films were produced by chemical vapour decomposition (CVD) of tungsten hexacarbonyl followed by annealing at various temperatures and in different annealing environments. Samples thus obtained were characterized by X-ray diffraction, Raman spectroscopy and Rutherford backscattering of alpha particles. Their optical properties were determined from reflection and transmission spectra. All prepared samples exhibit an reversible electrochromic effect in presence of an acid electrolyte.

Résumé
Des couches minces polycristallines de WO3 ont été produites par la décomposition en phase vapeur (CVD) de l'hexacarbonyle de tungstène suivie de recuit à température variable en atmosphère oxydante. Les échantillons obtenus en fonction de différentes conditions de préparation ont été caractérisés par diffraction de RX, spectroscopie Raman et rétrodiffusion Rutherford de particules alpha. Leurs caractéristiques optiques sont déterminées à partir des spectres de réflexion et transmission. Tous les échantillons obtenus présentent l'effet électrochrome en présence d'un électrolyte acide.

PACS
6855 - Thin film growth, structure, and epitaxy.
7820J - Electro optical effects condensed matter.
7865J - Optical properties of nonmetallic thin films.

Key words
CVD coatings -- electrochromism -- particle backscattering -- Raman spectra of inorganic solids -- reflectivity -- tungsten compounds -- X ray diffraction examination of materials -- optical properties -- structure -- CVD -- X ray diffraction -- Raman spectroscopy -- Rutherford backscattering -- alpha particles -- reflection -- transmission spectra -- reversible electrochromic effect -- acid electrolyte -- WO sub 3 electrochromatic thin films