Rev. Phys. Appl. (Paris) 24, 331-335 (1989)
DOI: 10.1051/rphysap:01989002403033100

Sur l'efficacité des ions et des électrons dans un plasma froid venant en contact avec un polymère

P. Gomes de Lima, J. Lopez, B. Despax et C. Mayoux

Laboratoire de Génie Electrique, Associé au C.N.R.S. (UA 304), Université Paul Sabatier, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse, France

Abstract
An experimental set up recently achieved allows a target irradiation by the different species existing in a cold plasma. On the other hand electrical measurements in situ, under 10-4 Pa vacuum or atmospheric pressure in inert gas, characterize the effect of low energy ions and electrons (50-300 eV) working separately or in conjunction. Actually several materials are studied (polyimide, epoxy, resins, polyolefins), results on polypropylene are only presented. Complementary analysis carried out ex situ, such as ESR or leakage currents measurement confirm the ions efficiency and the combination of ions and electrons as well.

Résumé
Un dispositif expérimental mis au point récemment permet d'irradier une cible par les différentes espèces rencontrées dans un plasma froid. D'autre part, des mesures électriques pratiquées in situ soit sous vide de 10-4 Pa soit à la pression atmosphérique en atmosphère inerte caractérisent les conséquences de l'impact des ions et des électrons de faible énergie (50-300 eV) agissant séparément ou en conjugaison. Plusieurs matériaux sont actuellement étudiés (polyimide, polyepoxy, polyoléfines). Seuls les résultats concernant le polypropylène seront présentés ici. Des analyses complémentaires pratiquées ex situ, telles que la RPE ou la mesure de courants de fuite confirment l'efficacité des ions ainsi que celle de l'association des ions et des électrons.

PACS
5240H - Solid state plasma interactions.
5270 - Plasma diagnostic techniques and instrumentation.
5225L - Plasma temperature and density.

Key words
plasma diagnostics -- plasma temperature -- plasma wall interactions -- polymers -- low energy electrons -- cold plasma -- polymer -- target irradiation -- low energy ions -- polypropylene -- ESR -- leakage currents