Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 2, Numéro 1, mars 1967
Page(s) 52 - 56
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:019670020105200
Rev. Phys. Appl. (Paris) 2, 52-56 (1967)
DOI: 10.1051/rphysap:019670020105200

Controle de couches minces transparentes d'épaisseurs optiques quelconques application à des couches extrêmement minces

E. Pelletier et P. Giacomo

C.N.R.S., Laboratoire Aimé-Cotton, Bellevue, France. -- Faculté des Sciences, Caen


Abstract
It is shown how a "maximetre" may be used for monitoring thin films differing from λ/4 in optical thickness, and specially extremely thin films. Two methods are proposed. The first one, very simple and general, uses a monitoring glass ; the other one needs difficult preliminary calculations but allows monitoring on the sample itself. These methods enable films down to λ/200 in thickness to be monitoring with considerable precision. An example application is proposed : improving the flatness of Fabry-Perot plates.


Résumé
On montre comment on peut utiliser le « maximètre » pour le contrôle pendant l'évaporation de couches non λ/4 et en particulier de couches extrêmement minces. Deux méthodes sont proposées. La première, très simple et très générale, utilise un verre témoin ; l'autre nécessite des calculs préalables difficiles mais permet le contrôle sur le verre à traiter lui-même. Ces méthodes permettent, avec une précision suffisante, le contrôle de couches d'épaisseur optique de l'ordre de λ/200. Un exemple d'application est proposé : l'amélioration de planéité des lames d'interféromètre de Fabry-Perot.

PACS
7800 - Optical properties and condensed matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation.

Key words
thickness measurement -- optical films