Homogénéité d'épaisseur et propriétés électriques des couches minces de silice obtenues dans un mélange N2/O2/HCl G. Sarrabayrouse et J. CapillaRev. Phys. Appl. (Paris), 20 2 (1985) 87-91DOI: https://doi.org/10.1051/rphysap:0198500200208700
