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Static response of miniature capacitive pressure sensors with square or rectangular silicon diaphragm

G. Blasquez, Y. Naciri, P. Blondel, N. Ben Moussa et P. Pons

Rev. Phys. Appl. (Paris), 22 7 (1987) 505-510

DOI: https://doi.org/10.1051/rphysap:01987002207050500

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