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Couches minces d'oxynitrure de phosphore. Application aux structures MIS sur InP

Dang Tran Quan, A. Le Bloa, H. Hbib, O. Bonnaud, J. Meinnel, A. Quemerais et R. Marchand

Rev. Phys. Appl. (Paris), 24 5 (1989) 545-551

DOI: https://doi.org/10.1051/rphysap:01989002405054500

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