Tests de circuits intégrés au MEB à travers les couches isolantes : correction des erreurs par simulation numérique H. Frémont, A. Touboul et Y. DantoRev. Phys. Appl. (Paris), 25 6 (1990) 499-507DOI: https://doi.org/10.1051/rphysap:01990002506049900
