Revue de Physique Appliquée

Caractérisation électrique de couches minces conductrices par une méthode hyperfréquence sans contact

X. Le Cleac'h, M. Bellec et G. Grandpierre

Rev. Phys. Appl. (Paris), 17 8 (1982) 481-490

DOI: 10.1051/rphysap:01982001708048100

X. Le Cleac'h

M. Bellec

G. Grandpierre

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