Elaboration et caractérisation en hyperfréquences de films minces de NbN K. Mbaye, M. Pham Tu, N.T. Viet, L. Wartski et J.-C. Villegier Rev. Phys. Appl. (Paris), 20 7 (1985) 457-463 DOI: 10.1051/rphysap:01985002007045700