Revue de Physique Appliquée

Recent developments of the two-dimensional technological process simulator OSIRIS

N. Guillemot, G. Pananakakis et P. Chenevier

Rev. Phys. Appl. (Paris), 22 7 (1987) 477-485

DOI: 10.1051/rphysap:01987002207047700

N. Guillemot

G. Pananakakis

P. Chenevier

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