Revue de Physique Appliquée

Static response of miniature capacitive pressure sensors with square or rectangular silicon diaphragm

G. Blasquez, Y. Naciri, P. Blondel, N. Ben Moussa et P. Pons

Rev. Phys. Appl. (Paris), 22 7 (1987) 505-510

DOI: 10.1051/rphysap:01987002207050500

G. Blasquez

Y. Naciri

P. Blondel

N. Ben Moussa

P. Pons

articles ayant parmi leurs auteurs TOUS les auteurs sélectionnés (ET)

articles ayant parmi leurs auteurs AU MOINS un auteur identique à ceux sélectionnés (OU)