Issue
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 9, Number 1, janvier 1974
Page(s) 183 - 185
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0197400901018300
Rev. Phys. Appl. (Paris) 9, 183-185 (1974)
DOI: 10.1051/rphysap:0197400901018300

Fabrication of small microbridges

R.Y. Chiao, M. J. Feldman, H. Ohta et P.T. Parrish

Department of Physics, University of California, Berkeley, California 94720, USA


Abstract
A simple, versatile technique for making very small, sturdy, reproducible microbridges is described. When exposed to air, to mechanical shock, or to repeated temperature cycling, the junctions do not deteriorate over long times. They can be as small as 2 000 A wide by 1 000 A long. Methods for obtaining strongly adherent, small-grained, homogeneous tin film, and for the protection of the junctions from electrical pulses, are also described.


Résumé
On décrit une technique simple pour fabriquer des microponts très petits, solides et reproductibles. Les jonctions ne se détériorent pas pendant de longues périodes même si elles sont exposées à l'air, soumises aux chocs et aux cyclages thermiques répétés. Leurs dimensions minimales sont de l'ordre de 2 000 A de large sur 1 000 A de long. On décrit par ailleurs un procédé qui permet d'obtenir des couches minces d'étain, adhérentes, homogènes et à grains fins et de réaliser une protection électrique des jonctions obtenues.

PACS
8525A - Superconducting device characterization, design, and modeling.

Key words
Superconductor circuit -- Electric bridges -- Microbridges -- Fabrication -- Vapor deposition -- Dimensions -- Miniaturization -- Microstructure -- Tin -- Electrical properties -- Experimental study