Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 3, Numéro 1, mars 1968
Page(s) 1 - 4
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:01968003010100
Rev. Phys. Appl. (Paris) 3, 1-4 (1968)
DOI: 10.1051/rphysap:01968003010100

Appareil pour l'étude des propriétés extensométriques des couches minces - Mesure de variations relatives de résistance entre 10-2 et 5 × 10-6 sur des couches dont la résistance peut être comprise entre 300 ohms et 15 000 ohms

J.-C. Lecordier

Laboratoire de Physique des Couches Minces, Faculté des Sciences de Rouen, 76-Mont-Saint-Aignan


Abstract
The device described in this paper was designed to study the performance of thin film strain gages. The relative resistance changes of the strain gage are converted into relative frequency variations through the channel of a Wien bridge oscillator. The strain gage is inserted in an arm of the Wien bridge. After frequency conversion, frequency changes are measured with a differential frequency meter. The measurement of relative resistance variations between 10-2 and 5 × 10-6 are possible. The sensitivity is independant of the value of the gage resistance in the range 300 to 15 000 ohms.


Résumé
L'étude des propriétés extensométriques des couches minces métalliques conduit à utiliser des dépôts dont la résistivité varie dans des proportions telles qu'il est impossible d'obtenir des résistances ajustées à une certaine valeur uniquement en leur donnant une géométrie appropriée. Nous avons donc été amené à réaliser un montage permettant de mesurer des variations relatives dR/R de résistances comprises entre 10-2 et 5 × 10-6, ceci avec une sensibilité indépendante de la valeur de ces résistances dans une plage comprise entre 300 ohms et 15 000 ohms.

PACS
0707D - Sensors (chemical, optical, electrical, movement, gas, etc.); remote sensing.
0750 - Electrical and electronic instruments and components.

Key words
Extensometry -- Metallic thin films -- Electric resistance measurement -- Measurement method -- Frequency meters -- Instrumentation -- Wien bridge