Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 3, Numéro 4, décembre 1968
Page(s) 325 - 330
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0196800304032500
Rev. Phys. Appl. (Paris) 3, 325-330 (1968)
DOI: 10.1051/rphysap:0196800304032500

La microscopie électronique à balayage et ses applications métallurgiques

J. Philibert

Institut de Recherches de la Sidérurgie Française, Saint-Germain-en-Laye


Abstract
In the scanning electron microscope, the specimen surface is scanned in a raster manner by a very fine electron probe. The secondary and back-scattered electrons emitted at the impact point of the probe are collected and used to modulate the brightness of the beam in a C.R.T. Due to the synchronous movement of this beam and the electron probe, an image of the specimen surface appears on the screen of the C.R.T. The resolving power may be better than 100 Å and the depth of field is several hundreds of times higher than with an optical microscope at the same magnification. Bulk specimens can be directly observed with the scanning microscope, this is a big advantage as compared to the transmission electron microscope. Many metallographic and microfractographic applications have been studied.


Résumé
Dans le microscope électronique à balayage, l'objet est exploré séquentielle-ment, ligne après ligne, par une sonde électronique très fine. Les électrons secondaires et rétrodiffusés émis à l'impact de celle-ci sont captés et constituent un signal qui module la brillance du faisceau d'un oscillographe cathodique sur l'écran duquel l'image est reconstituée point par point. Le pouvoir de résolution peut être meilleur que 100 Å et la profondeur de champ supérieure de plusieurs centaines de fois à celle du microscope optique ; les échantillons massifs peuvent être directement observés dans le microscope, ce qui représente un avantage certain sur le microscope électronique à transmission. De nombreuses applications métallographiques et microfractographiques ont déjà été signalées.

PACS
8170 - Methods of materials testing and analysis.
6220M - Fatigue, brittleness, fracture, and cracks.
0778 - Electron, positron, and ion microscopes; electron diffractometers.

Key words
SEM -- Operation -- Application -- Metallurgy -- Metallography -- Fracture mode -- Slip line -- Experimental study