Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 3, Numéro 4, décembre 1968
Page(s) 343 - 350
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0196800304034300
Rev. Phys. Appl. (Paris) 3, 343-350 (1968)
DOI: 10.1051/rphysap:0196800304034300

Microanalyse et microscopie électronique

J. Philibert

Institut de Recherches de la Sidérurgie Française, Saint-Germain-en-Laye


Abstract
The chemical analysis of a very small area of a specimen requires simultaneous observation of this specimen at a convenient magnification. On the electron microscopy scale, two methods have been applied with thin film specimens : - Spectroscopy of transmitted electrons : the energy losses of these electrons give a characteristic spectrum, which depends on the nature of the absorbing element or compound. For this purpose a velocity filter has to be attached to a conventional electron microscope. - X-emission microanalysis, in a combined electron microscope-electron probe micro-analyser. In the first case, the resolving power may be as good as that of the conventional electron microscope ; in the second case, resolution of about 2 000 to 3 000 Å has already been achieved but values of 200 Å should be possible. However the analytical possibilities of X ray microanalysis are certainly much greater, because the X spectra are much finer and more selective than the energy loss spectra. For metallurgical applications, the specimens can be thin films or extraction replicas.


Résumé
L'analyse chimique très locale d'un échantillon exige l'observation simultanée de celui-ci à un grandissement suffisant. A l'échelle de la microscopie électronique, deux méthodes ont été appliquées : - La spectroscopie des électrons transmis par l'objet (lame mince) ; les pertes d'énergie de ces électrons forment en effet un spectre de raies caractéristique de l'élément chimique ou du composé traversé. Dans ce but, un filtre de vitesse doit être adjoint à un microscope électronique classique. - La microanalyse par émission X. L'appareil est alors une combinaison de microscope électronique et de microanalyseur à sonde électronique. Le pouvoir de résolution dans le premier cas peut être aussi bon que celui du microscope électronique ; dans le second cas, il est actuellement voisin de 2 000 ou 3 000 Å et pourrait atteindre 200 Å, mais les possibilités analytiques de la microanalyse X sont très supérieures, car les spectres X sont plus fins et plus sélectifs que les spectres de pertes d'énergie. Pour les applications métallurgiques, les objets examinés peuvent être des lames minces ou des répliques avec extraction.

PACS
8130M - Solid-phase precipitation.
8170J - Chemical composition analysis, chemical depth and dopant profiling.

Key words
Microanalysis -- Electron microscopy -- Instrumentation -- Electron energy loss -- Investigation method -- Application -- Precipitates -- Stainless steels -- Experimental study