Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 7, Numéro 1, mars 1972
Page(s) 3 - 9
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:01972007010300
Rev. Phys. Appl. (Paris) 7, 3-9 (1972)
DOI: 10.1051/rphysap:01972007010300

Propriétés optiques et aberrations d'un canon à émission de champ pour la microscopie électronique à 75 et 100 kv

M. Troyon, N. Bonnet et F. Payen

Laboratoire d'Electricité, Faculté des Sciences, BP 347, Moulin de la Housse, 51-Reims


Abstract
Optical properties, spherical and chromatic aberrations of different field emission electron gun for 75 and 100 kV electron microscopy are experimentaly investigated using an analogical method. This investigation allows to choose the gun which gives minimum aberrations and consequently the maximum electron beam brightness. This brightness is approximatively 109 A/cm2 sterad. when the field at the cathode surface is 4.5 × 107 V/cm and the accelerating voltage 100 kV.


Résumé
Les propriétés optiques, les aberrations sphérique et chromatique de différents canons à électrons à émission de champ pour la microscopie électronique à 75 kV et 100 kV sont étudiées expérimentalement par une méthode analogique. Cette étude permet de choisir le canon qui donne les aberrations minimums, donc la brillance (*) du faisceau électronique maximum. Celle-ci a une valeur de l'ordre de 1 x 109 A/cm2 stérad. pour un champ électrique appliqué sur la pointe de la cathode égal à 4,5 × 107 V/cm, la tension d'accélération des électrons étant 100 kV.

PACS
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.
2320 - Electron emission, materials and cathodes.
2390 - Electron and ion microscopes.

Key words
aberrations -- electron guns -- electron microscopes -- electron optics -- chromatic aberrations -- field emission electron guns -- electron microscopy -- analogical method -- maximum electron beam brightness -- cathode surface -- accelerating voltage -- spherical aberrations