Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 9, Numéro 1, janvier 1974
Page(s) 173 - 177
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0197400901017300
Rev. Phys. Appl. (Paris) 9, 173-177 (1974)
DOI: 10.1051/rphysap:0197400901017300

Fabrication of arrays of superconducting microbridges

J.E. Mooij, C.A. Gorter et J.E. Noordam

Laboratorium voor Technische Natuurkunde Technische Hogeschool, Delft, The Netherlands


Abstract
Two methods have been developed to fabricate superconducting microbridges, i. e. scratching with a diamond point and electron-optical imaging on an electron-sensitive film. With the scratching technique, utilizing a special plate spring arrangement to determine the bridge width, arrays of microbridges have been fabricated. Distances between bridges can be varied at will from 4 μm upwards. Bridge dimensions are approximately 0.5 μm. With electron-optical imaging smaller bridges can be fabricated ; the method can easily be extended to the fabrication of arrays.


Résumé
Deux méthodes ont été développées pour fabriquer des microponts supraconducteurs. Dans la première, on utilise une pointe de diamant pour rayer la couche mince de métal. A l'aide d'un dispositif spécial à ressort, on peut choisir la largeur du micropont et réaliser des réseaux de microponts. La distance minimale entre micropont est alors de 4 μ, la largeur d'un micropont 0,5 μ. La seconde fait appel à l'optique électronique ; elle permet de fabriquer des microponts de plus petites dimensions et peut facilement produire des réseaux de microponts.

PACS
8525A - Superconducting device characterization, design, and modeling.

Key words
Superconductor circuit -- Electric bridges -- Microbridges -- Fabrication -- Scratching test -- Photoresists -- Electro-optical effects -- Metallic thin films -- Voltage current curve -- Experimental study