Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 9, Numéro 2, mars 1974
Page(s) 389 - 391
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0197400902038900
Rev. Phys. Appl. (Paris) 9, 389-391 (1974)
DOI: 10.1051/rphysap:0197400902038900

Possibilité de déconvolution du signal vidéo

E. Vicario et M. Pitaval

Département de Physique des Matériaux Université Claude-Bernard, Lyon I, France


Abstract
The video signal s(t) from a S. E. M. is in reality the convolution product. where f(x) is the spatial distribution of emitted electrons (secondaries and/or backscattered) at each point of the sample ; e(t) would be the expected signal if the electron probe and emitting zone were of infinitesimal dimensions. Assuming f(x) is a gaussian repartition of backscattered electrons or a weighted sum of two gaussian functions when the signal of secondaries is used, it is possible to solve the deconvolution equation and a better resolution is then obtainable. At this time, only one slow scan line is treated : the signal s(t) is sampled, the curve is fitted by a linear combination of Tchebytcheff polynomials, and the resulting curve e(t) is represented in the form of Tchebytcheff polynomials. Optimizing the function f(x) it seems possible to obtain some information on the emission : spatial distribution of backscattered electrons, spatial distribution of secondaries and ratio of intensities between secondaries and backscattered electrons.


Résumé
Le signal vidéo s(t) d'un M. E. B. est en fait un produit de convolution. où f (x) est la répartition spatiale des électrons émis pour chaque point de l'échantillon ; e( t) serait le signal obtenu si la zone émissive était infiniment petite. En prenant pour f(x) une somme pondérée de deux gaussiennes pour représenter respectivement les électrons rétrodiffusés et les secondaires vrais, il est possible de résoudre l'équation de déconvolution : et d'obtenir ainsi une meilleure résolution. Pour l'instant, on se contente de traiter une seule ligne de balayage : le signal s(t) est échantillonné, la courbe est lissée par une combinaison linéaire de polynômes de Tchebytcheff et la courbe résultante e(t) est également représentée par des polynômes de Tchebytcheff. En optimisant la fonction f (x), on peut espérer obtenir des renseignements quantitatifs sur l'émission secondaire : répartition spatiale des rétrodiffusés et des secondaires et rapport des intensités émises.

PACS
0230 - Function theory, analysis.
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.
2390 - Electron and ion microscopes.

Key words
electron microscopy -- Fourier analysis -- deconvolution -- video signal -- convolution product -- spatial distribution of emitted electrons -- gaussian repartition -- backscattered electrons -- resolution -- one slow scan line -- Tchebytcheff polynomials -- SEM signal -- secondary electrons -- secondary to backscattered electron ratio