Rev. Phys. Appl. (Paris) 10, 263-280 (1975)
DOI: 10.1051/rphysap:01975001005026300

Microanalyse et microscopie photoélectroniques X: principe et performances prévisibles

J. Cazaux

Groupe de spectroscopie des électrons Faculté des Sciences, 51062 Reims Cedex, France

Abstract
The X ray photoelectron intensity issued from a thin film sample attached below an anode (in a sheet form) is calculated and the principles and expected performances of photoelectron microanalysis are deduced. In scanning electron microscopy, using the proposed operating conditions, it will be possible to obtain a final electronic image not only characteristic of a given element but also of its oxydation degree with a spatial resolution of about 1 μ. A.E.S. and X.P.S. are compared and the schematic drawing of a versatile apparatus allowing electron induced A.E.S., X ray induced A.E.S. and X.P.S. is pointed out.

Résumé
En calculant l'intensité des photoélectrons X émis par un objet ayant la forme d'un film mince et placé sous une anticathode à faces parallèles, nous montrons qu'il est possible de conférer à la spectroscopie des photoélectrons un caractère microanalytique avec une résolution spatiale de l'ordre de 1 μ. Nous en déduisons, pour le microscope à balayage, un mode de fonctionnement avec lequel on obtiendrait une image spécifique non seulement de la nature des éléments constituant la préparation mais aussi de leur degré d'oxydation. Après les avoir comparés, nous indiquons comment l'appareil projeté permet de combiner les mesures effectuées en spectrométries Auger et en ESCA.

PACS
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.
0790 - Other topics in specialised instrumentation.
8280D - Electromagnetic radiation spectrometry chemical analysis.
8280P - Electron spectroscopy for chemical analysis photoelectron, Auger spectroscopy, etc..
2390 - Electron and ion microscopes.

Key words
electron microscope applications -- electron microscopy -- electron probe analysis -- spectrochemical analysis -- X ray photoelectron microscopy -- photoelectron microanalysis -- scanning electron microscopy