Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 12, Numéro 9, septembre 1977
Page(s) 1213 - 1217
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:019770012090121300
Rev. Phys. Appl. (Paris) 12, 1213-1217 (1977)
DOI: 10.1051/rphysap:019770012090121300

Excitation de l'azote dans une décharge microondes à fortes pressions

M. Locqueneux-Lefebvre1 et A. Ricard2

1  Laboratoire de Chimie Générale, Paris VI, France
2  Laboratoire de Physique des Plasmas Université Paris-Sud, 91405 Orsay, France


Abstract
A device generating microwave discharges in nitrogen or air is depicted. A spectroscopic study of the N2 discharge has been made for a range of pressures from 10 to 650 torr and UHF power from 130 to 420 watts. The vibrational excitation as measured from the N2 positive second system is high corresponding to a vibrational temperature Tv,x from 6 to 10 × 103 K. The comparison with the ionic state as measured from the N+2 negative first system shows that the ion N+2 excitation is predominant for high pressures and high power levels.


Résumé
Un dispositif permettant de réaliser des décharges de microondes (2,450 MHz) dans l'azote et dans l'air à pression élevée est présenté. L'étude spectroscopique de la décharge dans l'azote est faite entre 10 et 650 torr et pour des puissances UHF allant de 130 à 420 watts. L'excitation vibrationnelle, déterminée à partir du second système positif de N2, est forte correspondant à des températures vibrationnelles Tv,x de 6 à 10 × 103 K. La comparaison avec l'état ionique, déterminée à partir du premier système négatif de N+ 2 montre que l'excitation de l'ion N+2 est prédominante aux fortes pressions et fortes puissances.

PACS
5270K - Optical ultraviolet, visible, infrared plasma diagnostic techniques.
5280P - High frequency discharges.
2315 - Gas discharges.

Key words
high frequency discharges -- molecular vibration -- nitrogen -- plasma diagnostics -- high pressure -- microwave discharges -- N sub 2 discharge -- 10 to 650 torr -- UHF power -- 130 to 420 watts -- vibrational excitation -- N sub 2 positive second system -- N sub 2 sup + excitation