Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 13, Numéro 5, mai 1978
Page(s) 241 - 245
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:01978001305024100
Rev. Phys. Appl. (Paris) 13, 241-245 (1978)
DOI: 10.1051/rphysap:01978001305024100

Modélisation de surfaces de niobate de lithium perturbées par des ions implantés et utilisées pour propager des ondes élastiques

G. Cambon1 et P. Hartemann2

1  Centre d'Etudes d'Electronique des Solides (Associé au C. N. R. S.) Université des Sciences et Techniques du Languedoc, 34060 Montpellier Cedex, France et
2  Thomson C. S. F., Laboratoire Central de Recherches, Domaine de Corbeville, 91401 Orsay, France


Abstract
An acoustic model is proposed for ion-implanted acoustic surface wave delay lines on lithium niobate. Experimental and computed results about the variation of the electromechanical coupling coefficient of the wave give the value of the layer thickness perturbed by ions. The phase velocity variations show up a change of the shear modulus of the substrate.


Résumé
Un modèle est proposé pour les lignes à retard à ondes acoustiques de surface dont le substrat de niobate de lithium a été bombardé par des ions He +. Les mesures et les calculs théoriques de la variation du coefficient de couplage électromécanique de l'onde de surface permettent de déterminer l'épaisseur de la zone perturbée par implantation ionique. Les résultats des mesures et des calculs de la variation de la vitesse de phase de l'onde mettent en évidence une perturbation du module de cisaillement du substrat.

PACS
4385 - Acoustical measurements and instrumentation.
6170T - Doping and implantation of impurities.
6825 - Mechanical and acoustical properties of solid surfaces and interfaces.
2860C - Acoustic wave devices.

Key words
acoustic delay lines -- elastic waves -- ion implantation -- lithium compounds -- modelling -- surface acoustic wave devices -- acoustic model -- acoustic surface wave delay lines -- layer thickness perturbed by ions -- phase velocity -- shear modulus -- ion implanted LiNbO sub 3 -- electromechanical coupling coefficient