Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 13, Numéro 12, décembre 1978
Page(s) 757 - 760
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:019780013012075700
Rev. Phys. Appl. (Paris) 13, 757-760 (1978)
DOI: 10.1051/rphysap:019780013012075700

Physical and electrical properties of In2O3 : Sn films. Applications to optoelectronic devices

J.F. Bresse et J.C. Manifacier

Laboratoire de Microscopie Electronique, Laboratoire de Physique des Solides , U.S.T.L., pl. E.-Bataillon, 34060 Montpellier Cedex, France


Abstract
Transparent highly conductive layers of tin doped indium oxide, In 2O3 : Sn, prepared by a simple spraying method have been characterized. Stoichiometry and dopant concentrations of the layers, determined by an adapted method of X-ray microanalysis have been compared with concentrations in the solution. Electrical properties are related to the physical results in order to control the process for optoelectronic applications.


Résumé
Des dépôts conducteurs et transparents d'oxyde d'indium dopé à l'étain (In2O3 : Sn) préparés par une simple méthode spray ont été caractérisés. Les concentrations de dopants ont été déterminées par une méthode de microanalyse X adaptée, et comparées avec les concentrations dans la solution. Les propriétés électriques ont été reliées aux résultats physiques de façon à contrôler le processus de fabrication en vue d'applications optoélectroniques.

PACS
6170W - Impurity concentration, distribution, and gradients.
7220M - Galvanomagnetic and other magnetotransport effects semiconductors/insulators.
7280J - Electrical conductivity of other crystalline inorganic semiconductors.
7360F - Electronic properties of semiconductor thin films.
2520M - Other semiconductor materials.

Key words
doping profiles -- electron probe analysis -- Hall effect -- indium compounds -- semiconductor materials -- semiconductor thin films -- spray coatings -- tin -- In sub 2 O sub 3 :Sn films -- optoelectronic devices -- semiconductor films -- electron probe microanalysis -- Hall measurements -- electrical resistivity -- depth profiling