Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 14, Numéro 12, décembre 1979
Page(s) 993 - 1006
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:019790014012099300
Rev. Phys. Appl. (Paris) 14, 993-1006 (1979)
DOI: 10.1051/rphysap:019790014012099300

Appareillage pour l'ionisation thermique des produits de pulvérisation

J.-F. Hennequin et M. Couchouron

C.N.R.S., Laboratoire P.M.T.M., Université Paris-Nord, avenue Jean-Baptiste-Clément, 93430 Villetaneuse, France


Abstract
An apparatus is described in some details for checking a new method of solid elemental analysis. Neutral particles sputtered from a solid target by ion bombardment interact with a tungsten surface heated at very high temperature. The formed ions are then analyzed by means of a quadrupole mass spectrometer. Results for indium ionization after ion sputtering are quite similar to those precedently published where thermal atomic streams were used.


Résumé
Nous décrivons en détail un appareillage destiné à tester une nouvelle méthode d'analyse élémentaire des solides. Les particules arrachées sous forme neutre au cours du bombardement ionique d'une cible solide viennent interagir avec une surface de tungstène portée à très haute température. Les ions formés sont ensuite analysés dans un spectromètre de masse quadrupolaire. Les résultats ainsi obtenus pour l'ionisation de l'indium après pulvérisation sont similaires à ceux déjà publiés utilisant des jets atomiques thermiques.

PACS
0775 - Mass spectrometers and mass spectrometry techniques.
7920N - Atom , molecule , and ion surface impact and interactions.
8280M - Mass spectrometry chemical analysis.

Key words
indium -- mass spectroscopic chemical analysis -- surface ionisation -- ion sputtered products -- solid elemental analysis -- quadrupole mass spectrometer -- In