Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 20, Numéro 7, juillet 1985
Page(s) 457 - 463
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:01985002007045700
Rev. Phys. Appl. (Paris) 20, 457-463 (1985)
DOI: 10.1051/rphysap:01985002007045700

Elaboration et caractérisation en hyperfréquences de films minces de NbN

K. Mbaye1, M. Pham Tu1, N.T. Viet1, L. Wartski1 et J.-C. Villegier2

1  Institut d'Electronique Fondamentale, Université Paris XI, 91405 Orsay Cedex, France
2  CENG-LETI, rue des Martyrs, 85X, 38041 Grenoble Cedex, France


Abstract
Thin films of niobium nitride have been deposited onto niobium substrates by dc-magnetron reactive sputtering, and their surface résistance and penetration depth measured in the high frequency domain (10 GHz) as a function of temperature and film thickness. The experimental device allows the study of various samples during the same run. Results obtained confirm the superiority of this sputtering technique over classical ones, and show very good agreement with theory and with results provided by other measurement methods.


Résumé
Des films minces de nitrure de niobium, déposés par pulvérisation réactive à cathode magnétron en courant continu sur des substrats de niobium, ont été caractérisés en hyperfréquences (10 GHz) pour déterminer la résistance de surface et la profondeur de pénétration des champs, en fonction de la température et de l'épaisseur des dépôts. La méthode expérimentale utilisée permet d'étudier plusieurs échantillons au cours d'une même expérience. Les résultats obtenus confirment la supériorité de la technique de dépôt utilisé sur les techniques classiques, et sont en très bon accord avec les prévisions théoriques, ainsi qu'avec les résultats obtenus par d'autres méthodes de mesure.

PACS
7325 - Surface conductivity and carrier phenomena.
7430C - Magnetic properties of superconductors.
7470 - Superconducting materials.
7475 - Superconducting films.
8115C - Deposition by sputtering.

Key words
high frequency effects -- niobium compounds -- penetration depth superconductivity -- sputter deposition -- superconducting thin films -- surface conductivity -- type II superconductors -- superconducting NbN thin films -- DC magnetron reactive sputtering -- surface resistance -- penetration depth -- high frequency domain