Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 20, Numéro 12, décembre 1985
Page(s) 823 - 829
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:019850020012082300
Rev. Phys. Appl. (Paris) 20, 823-829 (1985)
DOI: 10.1051/rphysap:019850020012082300

Transmission et rétrodiffusion d'électrons de haute énergie : dispositif expérimental et modèles analytiques

G. Soum, H. Ahmed, H. Pinna et P. Verdier

Laboratoire d'Optique Electronique du C.N.R.S., associé à l'Université Paul Sabatier, B.P. 4347, 31055 Toulouse Cedex, France


Abstract
A knowledge of electron behaviour in the matter is needed, from a fundamental point of view in scanning electron microscopy, electron microanalysis and in source fields of space physics. The transmission and backscattering coefficients of amorphous and polycrystalline samples bombarded with monoenergetic electron beams are presented. A completely automated apparatus designed for measuring the coefficients is described. Semi-empirical laws have been established. These accurately describe the experimental results for energies ranging from 0.5 to 30 MeV.


Résumé
La microscopie à balayage, la microanalyse, la physique spatiale ont besoin, d'un point de vue fondamental, de connaître le comportement des électrons dans la matière. Nous présentons dans cet article les coefficients de transmission et de rétrodiffusion de cibles amorphes ou polycristallines bombardées par un faisceau d'électrons monocinétiques. Nous décrivons l'appareillage entièrement automatisé, conçu et mis au point pour la mesure de ces coefficients caractéristiques. Nous donnons des lois semi-empiriques qui permettent de retrouver avec précision les résultats expérimentaux dans un vaste domaine énergétique (0,05 à 30 MeV).

PACS
4180D - Electron beams and electron optics.
6180M - Channelling, blocking and energy loss of particles.
7920 - Surface impact phenomena.

Key words
electron beams -- electron optics -- energy loss of particles -- particle backscattering -- backscattering -- very high energy electrons -- electron behaviour -- scanning electron microscopy -- electron microanalysis -- source fields -- space physics -- transmission -- amorphous -- polycrystalline -- monoenergetic electron beams -- 0.5 to 30 MeV