Rev. Phys. Appl. (Paris) 23, 1661-1674 (1988)
DOI: 10.1051/rphysap:0198800230100166100

X-UV multilayer reflectivity tests using windowless soft X-rays tube and synchrotron source

R. Barchewitz^{1, 2} et R. Marmoret<sup>3

1</sup>  Université Pierre et Marie Curie, Laboratoire de Chimie Physique (U.A. No. 176), 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 Paris Cedex 05, France
²  LURE, Université Paris-Sud, 91405 Orsay, France
³  Commissariat à l'Energie Atomique, Centre d'Etudes de Bruyères-le-Chatel, 91680 Bruyères-le-Chatel, France

Abstract
The absolute reflectivity measurement of a multilayer mirror under conditions similar to its future use is one of the means to estimate its performances. The diffraction pattern profile permits to evaluate the relative influence of the different defects (interfacial roughness either intrinsic or induced by the substrats and stacking defects). For these measurements it is necessary to use a monochromatic radiation polarized perpendicularly to the incident plane. That is always possible with the synchrotron radiation which presents a high polarization localized in the orbital plane. In the case of characteristic lines emitted by X-ray tubes, it is necessary to polarize the radiation with the help of one or two multilayers oriented under Brewster angle (about 45°). We present in this article the techniques used for measuring the spectral responses of multilayers with a windowless soft X-ray tubes and synchrotron sources.

Résumé
La mesure absolue de la réflectivité d'un miroir multicouche dans une condition voisine de son utilisation future constitue l'un des moyens de prévoir ses performances. Le profil de la courbe de diffraction permet d'évaluer l'influence relative des différents défauts (rugosités interfaciales intrinsèques ou induites par le substrat et défauts d'empilement). Ces mesures nécessitent l'utilisation d'un rayonnement monochromatique polarisé perpendiculairement au plan d'incidence. Ceci est toujours possible avec le rayonnement synchrotron qui présente une forte polarisation localisée dans le plan de l'orbite. Dans le cas de l'utilisation de raies caractéristiques émises par un tube à rayons X, il est nécessaire de polariser le rayonnement à l'aide d'une ou deux multicouches inclinées sous l'angle de Brewster (peu différent de 45°). Nous présentons dans cet article les techniques utilisées pour mesurer les réponses spectrales de multicouches à l'aide de tubes à rayons X sans fenêtre et de sources synchrotron.

PACS
0785 - X ray, gamma ray instruments and techniques.
4278F - Performance and testing of optical systems.
4278C - Optical lens and mirror design.
0760 - Optical instruments and techniques.

Key words
light polarisation -- mirrors -- optical films -- optical testing -- optical variables measurement -- reflectivity -- X ray apparatus -- X ray diffraction -- X ray tubes -- X UV multilayer reflectivity -- soft X rays tube -- synchrotron -- diffraction pattern -- interfacial roughness -- stacking defects -- Brewster angle