Rev. Phys. Appl. (Paris) 24, 117-131 (1989)
DOI: 10.1051/rphysap:01989002401011700

Mise au point d'un microscope à effet tunnel

A. Brenac, M. Rebouillat et L. Porte

Institut de Physique Nucléaire (et In2P3) de Lyon, 43, bd du 11 Novembre 1918, 69622 Villeurbanne Cedex, France

Abstract
We report on the design and realization of a scanning tunneling microscope. The mechanical structure and the way the problem of vibration isolation is resolved are discussed. The behaviour of the feedback loop controlling the tip to sample distance is analysed in detail, including parasitic effects by electrical perturbations. The performance of this microscope is shown for graphite and metals imaged at atmospheric pressure.

Résumé
La conception et la réalisation d'un microscope à effet tunnel sont présentées. On discute de la partie mécanique et de la façon de réaliser l'isolation vis-à-vis des vibrations. Le comportement de la boucle d'asservissement qui contrôle la distance pointe-échantillon est analysée en détail. Les effets parasites dus aux perturbations électriques sont également pris en compte. Les possibilités de ce microscope sont démontrées avec quelques images du graphite et de métaux réalisées à l'air.

PACS
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.
6116D - Electron microscopy determinations of structures.

Key words
scanning tunnelling microscopy -- design -- scanning tunneling microscope -- mechanical structure -- vibration isolation -- feedback loop -- parasitic effects -- electrical perturbations -- graphite -- metals -- C