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Main defect reactions behind phosphorus diffusion gettering of iron

Jonas Schön, Ville Vähänissi, Antti Haarahiltunen, et al.
Journal of Applied Physics 116 (24) (2014)
https://doi.org/10.1063/1.4904961

On the investigation of dopant boundaries in silicon device structures by means of SEM‐EBIC

W. Hoppe and M. Kittler
Crystal Research and Technology 24 (1) 65 (1989)
https://doi.org/10.1002/crat.2170240114