Couches minces d'oxynitrure de phosphore. Application aux structures MIS sur InP Dang Tran Quan, A. Le Bloa, H. Hbib, O. Bonnaud, J. Meinnel, A. Quemerais et R. MarchandRev. Phys. Appl. (Paris), 24 5 (1989) 545-551DOI: https://doi.org/10.1051/rphysap:01989002405054500