Revue de Physique Appliquée

Une source d'ions de basse energie à flux élevé chauffée en hyperfréquences

Ph. Boulanger, B. Le Clerc, J.L. Leclerc et G. Mourier

Rev. Phys. Appl. (Paris), 12 10 (1977) 1655-1661

DOI: 10.1051/rphysap:0197700120100165500

Ph. Boulanger

B. Le Clerc

J.L. Leclerc

G. Mourier

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