Revue de Physique Appliquée

Silice UVCVD pour transistors MISFET autoalignés sur InP

J.L. Courant, P. Dimitriou et G. Post

Rev. Phys. Appl. (Paris), 25 9 (1990) 935-939

DOI: 10.1051/rphysap:01990002509093500

J.L. Courant

P. Dimitriou

G. Post

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