Etude XPS de films minces de NbN : décapage, oxydation à l'air, et oxydation thermique entre 20 °C et 200 °C. Comparaison avec les films minces de Nb
Rev. Phys. Appl. (Paris), 19 12 (1984) 979-986
DOI: 10.1051/rphysap:019840019012097900