Controle de couches minces transparentes d'épaisseurs optiques quelconques application à des couches extrêmement minces

Abstract
It is shown how a "maximetre" may be used for monitoring thin films differing from λ/4 in optical thickness, and specially extremely thin films. Two methods are proposed. The first one, very simple and general, uses a monitoring glass ; the other one needs difficult preliminary calculations but allows monitoring on the sample itself. These methods enable films down to λ/200 in thickness to be monitoring with considerable precision. An example application is proposed : improving the flatness of Fabry-Perot plates.

Résumé
On montre comment on peut utiliser le « maximètre » pour le contrôle pendant l'évaporation de couches non λ/4 et en particulier de couches extrêmement minces. Deux méthodes sont proposées. La première, très simple et très générale, utilise un verre témoin ; l'autre nécessite des calculs préalables difficiles mais permet le contrôle sur le verre à traiter lui-même. Ces méthodes permettent, avec une précision suffisante, le contrôle de couches d'épaisseur optique de l'ordre de λ/200. Un exemple d'application est proposé : l'amélioration de planéité des lames d'interféromètre de Fabry-Perot.