Rev. Phys. Appl. (Paris) 13, 815-819 (1978)
DOI: 10.1051/rphysap:019780013012081500

Non destructive testing of electronic devices by acoustic microscopy

J. Attal et G. Cambon

Centre d'Etudes d'Electronique des Solides , U.S.T.L., place E.-Bataillon, 34060 Montpellier Cedex, France

Abstract
The interest of the scanning acoustic microscope previously demonstrated in the biomedical field is extended to microelectronic applications. The properties of penetrating and focusing of acoustic waves in solids are particularly suitable for non destructive observation of surface and subsurface of solid state structure and device such as integrated circuit, epitaxial, implanted and diffused layers. Up to date it is one of the best ways to visualize underneath the surface of solids opaque to light and electronic rays.

Résumé
L'intérêt du microscope acoustique précédemment démontré dans le domaine biologique est étendu à des applications microélectroniques. Les propriétés de pénétration et de focalisation des ondes acoustiques dans les solides sont particulièrement bien adaptées à l'observation non destructive de surfaces et sous-surfaces de structures et de composants relevant de la physique des solides tels que circuits intégrés, couches épitaxiées, implantées ou diffusées. A ce jour, c'est l'un des meilleurs moyens de visualiser sous la surface de solides opaques à la lumière et aux électrons.

PACS
4363 - Acoustic holography.
4385 - Acoustical measurements and instrumentation.
2220 - Integrated circuits.
2570 - Semiconductor integrated circuits.
7820 - Sonic and ultrasonic applications.

Key words
acoustic imaging -- acoustic microscopes -- integrated circuit testing -- nondestructive testing -- electronic devices -- acoustic microscopy -- integrated circuit -- non destructive testing