Rev. Phys. Appl. (Paris) 24, 227-242 (1989)
DOI: 10.1051/rphysap:01989002402022700

Modélisation d'une structure multicapteur à courants de Foucault destinée à l'analyse de profil

P. Aknin, F. Monteil et D. Placko

L.E.SI.R., E.N.S. Cachan, 61 avenue du Président Wilson, 94230 Cachan, France

Abstract
This paper deals with original eddy current sensors set in a linear structure, leading the way to new metrology and profilemetry applications. A physical model is being presented, giving good results in sensors image « deconvolution ». Interests of this system are demonstrated through some examples in robotic industry.

Résumé
Cet article présente une structure originale de capteurs à courants de Foucault dont l'association en ligne permet d'envisager pour cette technologie, de nouvelles applications en métrologie et en relevé de profils. La présentation d'un modèle physique et son utilisation lors de phases de « déconvolution » de l'image sont ensuite illustrées par quelques exemples d'applications industrielles en robotique.

PACS
7230G - Image sensors.
5140 - Electromagnetic induction.
7320C - Spatial variables measurement.

Key words
eddy currents -- electric sensing devices -- image sensors -- surface topography measurement -- image deconvolution -- multisensor -- profile analysis -- eddy current sensors -- linear structure -- metrology -- profilometry -- model -- robotic industry