Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 5, Numéro 5, octobre 1970
Page(s) 759 - 764
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0197000505075900
Rev. Phys. Appl. (Paris) 5, 759-764 (1970)
DOI: 10.1051/rphysap:0197000505075900

Étude du taux de pulvérisation et du coefficient d'émission électronique secondaire de cibles métalliques polycristallines bombardées par des ions Hg+, dans un domaine d'énergie allant de 5 à 30 keV

H. Ismail

Institut d'Electronique Fondamentale, Faculté des Sciences, Bâtiment 220, 91, Orsay


Abstract
Using a monochromatic Hg+ ion beam, a study of variation of sputtering yield S and electron secondary emission coefficient γ as function of ion energy E has been made with different polycristalline materials, which can be used in ion sources (or ionic motors). Large variations of S have been observed in each period of the periodic chart of elements. Lower values of S are obtained with carbon, titanium, molybden and tantalum (2 to 3 atoms per ion at E = 20 keV). Concerning γ, molybden and tantalum give a weak electron secondary emission. It seems that the evaporation heat E1 is an important parameter, the sputtering yield varying approximately as a decreasing exponential function of E1, for a given value of the ion energy.


Résumé
En utilisant un faisceau monocinétique d'ions Hg+, une étude des variations du taux de pulvérisation Set du coefficient d'émission électronique secondaire γ, en fonction de l'énergie E des ions, a été effectuée sur différents métaux polycristallins pouvant être utilisés dans la technologie des sources d'ions ou de moteurs ioniques. Le carbone, le titane, le molybdène et le tantale correspondent à de très faibles valeurs de S (2 à 3 atomes/ion pour E = 20 keV). Les plus faibles valeurs de γ sont obtenues avec le molybdène et le tantale. On observe de larges variations de S dans chacune des périodes du tableau de Mendéléiev. Il semble que la chaleur de sublimation E1 joue un rôle important, car, à énergie donnée, S varie approximativement comme une fonction exponentielle décroissante de E1.

PACS
7920H - Electron surface impact: secondary emission.

Key words
mercury metal -- nuclear bombardment targets -- secondary electron emission -- sputtering