Rev. Phys. Appl. (Paris) 12, 1805-1809 (1977)
DOI: 10.1051/rphysap:0197700120110180500

Nouvelle méthode de microanalyse des composants électroniques

F. Bénière

Laboratoire de Physique des Matériaux, I. U. T., 22302 Lannion, France

Abstract
We have realized a microanalytical method which applies to the integrated circuits, especially to those with a silicon substrate. This qualitative and quantitative method gives the distribution of the atoms inside and over the substrate. It combines the advantages of the precision of the mechanical sectioning (1 μ within 1 %) and of the sensitivity of the nuclear methods of analysis (10-9-10-12 g).

Résumé
Nous avons mis au point une méthode de microanalyse des circuits intégrés, en particulier ceux à substrat de silicium. Cette méthode qualitative et quantitative permet de déterminer la distribution des atomes à l'intérieur et à la surface du substrat. Elle combine les avantages de la précision du sectionnement mécanique (1 μ à 1 % près) et de la sensibilité de l'analyse par les méthodes nucléaires (10-9 à 10-12 g).

PACS
8280 - Chemical analysis and related physical methods of analysis.
2570 - Semiconductor integrated circuits.

Key words
chemical analysis -- integrated circuit technology -- integrated circuit testing -- substrates -- microanalytical method -- integrated circuits -- precision -- sensitivity -- analysis of electronic components -- Si substrate -- atom distribution