| Numéro |
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 16, Numéro 7, juillet 1981
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|---|---|---|
| Page(s) | 387 - 395 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/rphysap:01981001607038700 | |
Rev. Phys. Appl. (Paris) 16, 387-395 (1981)
DOI: 10.1051/rphysap:01981001607038700
Commissariat à l'Energie Atomique, Centre d'Etudes de Limeil, B.P. n° 27, 94190 Villeneuve Saint Georges, France Société SEDEME, 9 bis et 11, rue Simonet, 75013 Paris, France
0620H - Measurement standards and calibration.
0670M - Transducers.
8115C - Deposition by sputtering.
0520F - Chemical vapour deposition.
2810F - Piezoelectric and ferroelectric materials.
2860 - Piezoelectric and ferroelectric devices.
7130 - Measurement standards and calibration.
7230 - Sensing devices and transducers.
7320V - Pressure and vacuum measurement.
Key words
calibration -- copper alloys -- manganese alloys -- nickel alloys -- piezoelectric thin films -- piezoelectric transducers -- pressure measurement -- pressure transducers -- sputtered coatings -- thin film devices -- ytterbium -- cathode sputtering deposition -- manganin gauge -- piezoresistive thin film gauges -- Yb gauge -- dynamic pressure coefficient calibration -- pressure gauge
DOI: 10.1051/rphysap:01981001607038700
Piézorésistivité du manganin et de l'ytterbium déposés par pulvérisation cathodique
G. Bosca, J. David, L. Allay, J.M. Darmon et Y. VictorCommissariat à l'Energie Atomique, Centre d'Etudes de Limeil, B.P. n° 27, 94190 Villeneuve Saint Georges, France Société SEDEME, 9 bis et 11, rue Simonet, 75013 Paris, France
Abstract
Piezoresistive thin films gauges of manganin and ytterbium can be realized by sputtering deposition. A number of gauges have been made on different substrates, particularly silica and kapton. Experiments for calibration of the dynamic pressure coefficient of both types of gauges are described.
Résumé
Il est possible de réaliser des jauges piézorésistives de manganin et d'ytterbium par pulvérisation cathodique. Un certain nombre de jauges ont été fabriquées sur différents supports, notamment silice et kapton. Nous présentons les essais effectués pour évaluer leurs coefficients respectifs en pression dynamique.
0620H - Measurement standards and calibration.
0670M - Transducers.
8115C - Deposition by sputtering.
0520F - Chemical vapour deposition.
2810F - Piezoelectric and ferroelectric materials.
2860 - Piezoelectric and ferroelectric devices.
7130 - Measurement standards and calibration.
7230 - Sensing devices and transducers.
7320V - Pressure and vacuum measurement.
Key words
calibration -- copper alloys -- manganese alloys -- nickel alloys -- piezoelectric thin films -- piezoelectric transducers -- pressure measurement -- pressure transducers -- sputtered coatings -- thin film devices -- ytterbium -- cathode sputtering deposition -- manganin gauge -- piezoresistive thin film gauges -- Yb gauge -- dynamic pressure coefficient calibration -- pressure gauge