Rev. Phys. Appl. (Paris) 17, 435-440 (1982)
DOI: 10.1051/rphysap:01982001707043500

Direction et distance d'analyse à la sonde atomique

D. Blavette, J.M. Sarrau, A. Bostel et J. Gallot

Groupe de Métallurgie Physique, ERA 258, UER des Sciences et Techniques, B.P. 67, 76130 Mont Saint Aignan, France

Abstract
The atom-probe results of analysis can be represented by a sequencial list of evaporated atoms corresponding to the sample investigation in depth. For a good exploitation, in particular for composition profiles, this list should be related to the real lattice of the sample. From an emitter shape model, the direction and the surface analysis are defined for every investigation site. The analysis depth is determined from the number of evaporated planes. An expression of the analysed volume is given and leads to a relation between the analysis depth and the number of detected atoms. An experimental constant, which shows the contribution of the different factors, is then introduced.

Résumé
Les résultats d'analyse à la sonde atomique se présentent sous la forme d'une liste d'arrivée des atomes qui correspond à l'investigation en profondeur de l'échantillon. Pour une pleine exploitation des résultats, en particulier dans les profils de composition, cette liste doit être reliée au réseau réel de l'échantillon. A partir d'un modèle représentant la forme des échantillons, la direction et la surface d'analyse sont définies en tout site d'investigation. La profondeur d'analyse est ensuite exprimée en fonction du nombre de plans évaporés. Une expression du volume analysé est proposée et conduit à une relation donnant la profondeur d'analyse en fonction du nombre d'atomes reçus. Enfin une constante d'expérimentation est introduite et montre la contribution des différents facteurs mis en jeu.

PACS
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.

Key words
atom probe field ion microscopy -- atom probe analysis -- evaporated atoms -- composition profiles -- emitter shape model