Rev. Phys. Appl. (Paris) 23, 1687-1700 (1988)
DOI: 10.1051/rphysap:0198800230100168700

Characterization of multilayer coatings by X-ray reflection

E. Spiller

IBM Research Division, T. J. Watson Research Center, Box 218, Yorktown Heights, N.Y. 10598, U.S.A.

Abstract
Methods to deduce the parameters of a multilayer X-ray mirror from its reflectivity curve are reviewed. Inversion methods are successful for coatings with few layers and give the thickness of each layer and the roughness of each interface. A statistical description of the coating is used for coatings with many layers, and simple formulas are given to derive the average thickness error and boundary roughness in a multilayer mirror.

Résumé
On présente les méthodes permettant de déduire les caractéristiques d'un système multicouches à partir d'une courbe de réflectivité. Dans le cas d'empilements comportant peu de couches, les méthodes d'inversion permettent de déduire l'épaisseur de chaque couche et les rugosités de chaque interface. Si le système est composé de beaucoup de couches, une description statistique de l'empilement conduit à des formules simples fournissant une moyenne des erreurs sur la période et sur les rugosités des interfaces d'un miroir multicouches.

PACS
0785 - X ray, gamma ray instruments and techniques.
4278F - Performance and testing of optical systems.
0630C - Spatial variables measurement.

Key words
mirrors -- optical films -- surface topography measurement -- X ray apparatus -- multilayer coatings -- X ray reflection -- X ray mirror -- reflectivity curve -- thickness error -- boundary roughness -- multilayer mirror