Montage interférentiel pour mesurer l'épaisseur optique de lames minces transparentes

Abstract
A three-beam interferometric device, without any slit, permits the measurement of the optical thickness of transparent unsupported films in conditions of good luminosity, with an accuracy of 50 angstroms. One obtains either the thickness at a given point of the film or an average value of thickness over a circular zone of about ten square millimeters.

Résumé
Un montage interférentiel à trois faisceaux, ne comportant aucune fente, permet de mesurer l'épaisseur optique de lames minces sans support, dans de bonnes conditions de luminosité. L'incertitude sur l'épaisseur réelle ne dépasse pas 50 angstroms. On obtient à volonté l'épaisseur en un point quelconque de la lame ou une valeur moyenne de l'épaisseur pour une zone circulaire d'une dizaine de millimètres carrés.