Appareillages de mesure de la piézorésistance des semiconducteurs

Abstract
Measurement of piezoresistance coefficients in semiconductors requires a high sensitivity which can be achieved through selective amplification of alternating signals. Such a result has been obtained either by applying an alternating stress on the sample or by working with alternating currents in the circuits. Both techniques are described, each of which being used in the case when the other fails to give satisfactory performance. Furthermore, the latter may be used when precision measurements of resistivity, Hall effect or magnetoresistance are required.

Résumé
L'amplification sélective de signaux alternatifs permet d'atteindre la grande sensibilité exigée par les mesures de piézorésistance. Ce résultat est obtenu soit par l'application à l'éprouvette d'une contrainte alternative, soit par l'utilisation du courant alternatif dans le circuit de mesure. Les deux appareillages décrits sont utilisables dans des domaines complémentaires. Le second, en outre, peut trouver d'utiles applications à des mesures précises de résistivité, d'effet Hall ou de magnétorésistance.