Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 3, Numéro 4, décembre 1968
Page(s) 351 - 355
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0196800304035100
Rev. Phys. Appl. (Paris) 3, 351-355 (1968)
DOI: 10.1051/rphysap:0196800304035100

La spectroscopie des électrons Auger

Jean-Paul Deville

Laboratoire de Minéralogie et de Pétrographie, Faculté des Sciences de Strasbourg, I, rue Blessig, 67-Strasbourg


Abstract
We describe a new method of analysis of surface layers. This method uses the observation of subsidiary maxima in the energy spectra of secondary electrons emitted by electron bombarded targets. Auger electrons are responsible of these maxima. After having summarized some fundamentals of secondary electron emission, we describe an apparatus giving good resolution of Auger peaks. Finally, we report the work already carried out using this technique. They show that it is a sensitive detector for light elements and that it can be a quantitative method of determining surface impurities.


Résumé
Nous décrivons une nouvelle méthode d'analyse des couches superficielles. Cette méthode est basée sur l'observation de maxima subsidiaires dans les spectres d'énergie des électrons secondaires émis par des cibles bombardées par des électrons. Ces maxima sont dus aux électrons Auger. Après avoir rappelé quelques notions fondamentales sur l'émission secondaire des électrons, nous décrivons un appareil permettant une bonne résolution des pics Auger. Enfin, nous exposons les travaux déjà faits avec cette technique. Ils montrent qu'elle détecte très bien les éléments légers et qu'elle peut déterminer quantitativement les impuretés superficielles.

PACS
6835 - Solid surfaces and solid-solid interfaces: Structure and energetics.
6837X - Scanning Auger microscopy, photoelectron microscopy.

Key words
AES -- Operation -- Surface analysis -- Experimental study